แมกนีตรอนสปัตเตอร์ปฏิกิริยาเป็น เทคนิคผู้ใหญ่ ในการฝากชั้นสารประกอบบาง ๆ ไว้บนพื้นผิวกว้างๆ เป็นชั้นบนสุดหรือเป็นชั้นกลางในการเคลือบหลายชั้น ขอบเขตของ "บาง" มีตั้งแต่ไม่กี่นาโนเมตรจนถึงหลายไมโครเมตร
ทำไมแมกนีตรอนสปัตเตอร์
แมกนีตรอนสปัตเตอร์คือ กระบวนการชนกันระหว่างอนุภาคตกกระทบกับเป้าหมาย … แมกนีตรอนสปัตเตอร์เพิ่มความหนาแน่นของพลาสมาโดยการแนะนำสนามแม่เหล็กบนพื้นผิวของแคโทดเป้าหมายและใช้ข้อจำกัดของ สนามแม่เหล็กบนอนุภาคที่มีประจุเพื่อเพิ่มอัตราการสปัตเตอร์
ปฏิกิริยาสปัตเตอร์หมายความว่าอย่างไร
ปฏิกิริยาสปัตเตอร์คือ กระบวนการที่ช่วยให้สามารถฝากสารประกอบได้โดยการนำก๊าซปฏิกิริยา (โดยทั่วไปคือออกซิเจนหรือไนโตรเจน) เข้าไปในพลาสมา ซึ่งโดยทั่วไปแล้วจะเกิดก๊าซเฉื่อย เช่น อาร์กอน (พบมากที่สุด), ซีนอน หรือคริปทอน
แมกนีตรอนสปัตเตอร์ทำงานอย่างไร
แมกนีตรอนสปัตเตอร์เป็นเทคโนโลยีการตกตะกอนที่เกี่ยวข้องกับพลาสมาก๊าซซึ่งถูกสร้างขึ้นและถูกกักขังอยู่ในพื้นที่ที่มีวัสดุที่จะฝาก – 'เป้าหมาย' … การชนเหล่านี้ทำให้เกิด การผลักไฟฟ้าสถิต ซึ่ง 'กระแทก' อิเล็กตรอนจากอะตอมของแก๊สที่สปัตเตอร์ทำให้เกิดการแตกตัวเป็นไอออน
ทำไม RF ถึงสปัตเตอร์
RF หรือการสปัตเตอร์ความถี่วิทยุคือ เทคนิคที่เกี่ยวข้องกับการสลับศักย์ไฟฟ้าของกระแสไฟฟ้าในสภาพแวดล้อมสุญญากาศที่ความถี่วิทยุเพื่อหลีกเลี่ยงการประจุที่สร้างขึ้นบนวัสดุเป้าหมายการสปัตเตอร์บางประเภทซึ่งเมื่อเวลาผ่านไปอาจส่งผลให้เกิดประกายไฟในพลาสมาที่พ่นละออง …